Список требований, условий и оборудования, необходимого для начала инсталляции NanoMaker

Следующие инструменты, оборудование и условия необходимы для успешной инсталляции NanoMaker:

1. Во время инсталляции микроскоп должен быть полностью работоспособным и демонстрировать высокое разрешение, близкое к заявленному производителем. Интерфейс Внешнего Сканирования (External Scan Interface) должен быть в рабочем состоянии. Если разъемы интерфейса уже заняты каким либо внешним устройством, необходимо обеспечить подключение через дополнительное переключающее устройство.
2. ПО NanoMaker устанавливается на отдельный компьютер (компьютер управляющий микроскопом не может быть использован для этого). Требования к компьютеру следующие:
   • процессор Pentium класса и выше;
   • OS Windows 2000/XP/7;
   • привилегии Администратора;
   • 40 мб свободного пространства на жестком диске;
   • наличие свободного PCIe слота для установки нашей карты управления;
   • если необходимо управление столом микроскопа, соответствующие порты компьютера и микроскопа должны быть соединены кабелем;
   • свободный USB порт для установки ключа защиты (донгла);
   • CDROM для установки ПО с диска.
3. В процессе экспонирования необходимо измерять тока зонда. Обычно используется схема измерения поглощенного тока с образца (держателя образца). В некоторых приборах цилиндр Фарадея может располагаться в держателе блока диафрагм. Любая из этих схем измерения тока пригодна для экспонирования с помощью NanoMaker. Пикоамперметр может быть встроенным в микроскоп или внешним, таким, например, как Keithley 485 Picoammeter или аналогичный ему для измерения тока зонда в диапазоне 0.1 pА - 1 мкА.
4. Желательно использовать универсальный держатель образцов для подложек с резистом. Подложки (куски кремниевых пластин) должны крепиться пружинными контактами. Неплохо было бы иметь держатель наподобие приведенного в этих ссылках: картинка и фото.
   Изготовить подобный держатель можно и самостоятельно. Важно, чтобы это была достаточно большая плоская поверхность из немагнитного материала (все детали обязательно из немагнитных материалов), чтобы можно было крепить одновременно несколько подложек. На держателе неплохо было бы иметь:
   1. цилиндр Фарадея;
   2. калибровочный образец (например такой, как по ссылке далее);
   3. образец для настойки высокого разрешения (high resolution standard).
   В качестве цилиндра Фарадея можно использовать глубокие несквозные отверстия в держателе образцов диаметром 100 - 200 микрон и глубиной больше 400 - 800 микрон, соответственно. Т.е. с аспектным отношением лучше чем 1:4.
5. Для выполнения литографических задач необходима периодическая калибровка отклоняющей системы микроскопа. Для реализации этой задачи необходимо иметь специальный калибровочный образец - меру. В качестве таковой может быть использована, например, calibration pattern S1930 от Agar Scientific Ltd. или подобная.
6. Для проявления нужны химический бокс, посуда, реактивы (IPA, дистиллированная вода), пинцеты, секундомер. Обычно, во время инсталляции мы используем кремниевые подложки размером ~1.5 х 1.5 см с нанесенным PMMA 950K резистом.
7. На месте проявления нужен оптический микроскоп с большим увеличением (субмикронным), работающий на отражение, для контроля результатов проявления.
8. При инсталляции может понадобиться осциллограф.