В настоящее время на сайте доступны следующие сервисы:
Таблица Рекомендованных Параметров
на основе Java-апплета, который вычисляет параметры функции близости для PMMA резиста и нескольких типов подложек
на основе экспериментальных данных в зависимости от размера пучка, толщины резиста и ускоряющего напряжения.
Параметры функции близости могут быть использованы для подбора режимов экспонирования при работе на других
литографических системах.
Данная Таблица встроена в NanoMaker и позволяет автоматически рассчитывать рекомендованные параметры
для экспонирования, коррекции эффекта близости и моделирования проявления резиста для широкого круга подложек.
Если перед вами стоит задача выбора и покупки электронного микроскопа, которой мог бы
использоваться для электронно-лучевой литографии, или у вас уже есть микроскоп,
и вы хотите понять может ли NanoMaker быть пристыкован к нему, пожалуйста, ознакомьтесь
с нашими рекомендациями и требованиями.
