Опубликованы фото дифракционных решеток рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)
Опубликованы фото дифракционных решеток рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400)
October 10, 2014
В нашей Фотогалерее опубликованы несколько фотографий "глубоких" дифракционных решеток рентгеновского излучения на основе кристалла Si (400). На изображениях представлены дифракционные решетки изготовленные на поверхности Si пластины методами электронной литографии и реактивного ионно-плазменного травления в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР-плазма). Фотографии любезно предоставлены нашими пользователями из ИПТМ РАН, Черноголовка.