Автоматическая стыковка полей совмещением по сетке маркеров
Автоматическая стыковка полей совмещением по сетке маркеров
Данный пример был выполнен для демонстрации возможностей системы по экспонированию
больших структур с переездами стола и стыковкой подполей в автоматическом режиме.
Работа была выполнена на микроскопе Zeiss SEM EVO-50 оснащенном стандартным механическим столом,
точность переезда которого хуже 1 um. В качестве структуры для экспонирования была выбрана
Брэгг-Френелевской линза 1+3+5 порядков с размерами 1250 um x 180 um и минимальным размером зон 200 nm.
Экспонирование выполнялось с переездами стола через 200 микрон. Преимущественное направление переезда
вдоль горизонтальной оси. В каждом подполе перед экспонированием выполнялась автоматическая настройка
поля по одному маркерному знаку для компенсации неточностей перемещения стола. Для того чтобы
осуществить такую процедуру на исходной Si подложке с помощью оптической литографии с последующим
осаждением металла были созданы контрастные маркеры в виде крестов. Шаг между центрами маркеров 200 микрон,
ширина перекрестья около 1.5 микрон. Линза была нарисована в резисте PMMA-950 толщиной 400 нм
при ускоряющем напряжении 15 кВ. После проявления на подложку было нанесено ~100 нм Au и выполнен lift-off.
Как видно из публикуемых ниже фотографий, точность стыковки полей была лучше чем 100 нм.
А лимитирующим фактором для данной процедуры явилось качество изготовления маркеров
использовавшихся для совмещения.
Fig. 1. Общий вид изготовленной линзы и сетки маркеров.
Брэгг-Френелевская линза 1 +3 +5 порядков габаритными размерами 1250 мкм х 180 мкм
и размером минимальной зоны 200 нм. Линза была экспонирована в 400 нм ПММА-950 резисте
при ускоряющем напряжении 15 кВ и перенесена в 100 нм Au пленку посредством lift-off процедуры.
Несколько маркеров, видимых в левой части изображения были использованы для предварительного
совмещения координатных систем образца, отклоняющей системы микроскопа и стола
при помощи полуавтоматической процедуры. А затем, все экспонирование и стыковка полей
по сетке маркеров были выполнены в автоматическом режиме.