 |
 | NanoMaker |  | Скачать |  | Примеры Использования | | Поддержка | | Публикации | | Контакты |  |
 |
|
|
|||||||||||
  
|
 |
Интеграция с лазерным интерферометрическим столом на LEO 1560
 Fig. 1. LEO 1560 под управлением NanoMaker |
NanoMaker был интегрирован с лазерным интерферометрическим столом, установленным на сканирующем электронном микроскопе LEO 1560 в BESSY | AZM (Germany). Двух-координатный лазерный интерферометрический стол от компании Technology Sources Ltd., UK имеет пределы перемещения по осям 150 мм и точность измерения положения 2.5 нм. Используя уникальные функции NanoMaker по стыковке полей, основанные на компенсации динамических ошибок позиционирования луча и высокую точность измерения положения стола с помощью лазерных интерферометров, новая установка демонстрирует отличные результаты в производстве крупномасштабных устройств (до нескольких сантиметров). На фотографии приведены два примера таких устройств для рентгеновской оптики и спектроскопии. Fig. 2a и 2b демонстрируют плоский монохроматор из совершенного монокристалла Ge с линзами в виде золотых отражающих зонных пластинок. На Fig. 3 представлены фрагменты эллиптической Брэгг-Френелевской зонной пластинки. |
 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
||||||||||
 |
 |
 |
|
||||||||
 |
|
||||||||||
 |
 |
|
|||||||||
 |
 |
|
|||||||||
| Fig. 2a. Несколько линз в виде золотых отражающих зонных пластинок изготовлены на одном плоском монохроматоре из совершенного монокристалла Ge (111). Ge кристалл имеет размеры 30 мм х 30 мм. Фокусное расстояние линз 310 см. Размер последней зоны 300 нм. | |
||||||||||
| Fig. 2b. Фрагмент последних зон одной из линз. Толщина золотого фазосдвигающего слоя 150 нм. | |
||||||||||
 |
|
||||||||||
 |
 |
 |
|
||||||||
 |
|
 |
|
||||||||
 |
|
||||||||||
| Fig. 3. Фрагменты эллиптической Брэгг-Френелевской зонной пластинки для рентгеновского излучения с зонами 1-го и 3-го порядка. | |
 |
|
||||||||
 |
|
||||||||||
|
Все фотографии любезно предоставлены , BESSY | AZM, Berlin. |