Управление другими сканирующими устройствами

Управление АСМ с помощью NanoMaker. Коррекция гистерезиса

Чтобы использовать АСМ/СТМ устройства в качестве технологического инструмента необходимо обеспечить доступ к любой точке образца в течение той же самой литографической сессии или в течение следующей. Задача была решена подключением к управлению АСМ устройством программного пакета NanoMaker первоначально разработанного для управления электронно-литографическими установками. По сравнению с электронно-литографическими установками АСМ/СТМ устройства имеют очень существенное и неприятное свойство - гистерезис двигателей перемещающих кантилевер. Как следствие, поле сканированния и снимаемые изображения оказываются искаженными. Пример таких искажений можно увидеть на Fig.1a.

Fig. 1a. Вследствие гистерезиса площадь нижнего левого 1 мкм квадратика в четыре раза больше площади такого же квадратика в верхнем правом углу изображения.	Fig. 1b. После коррекции гистерезиса 1% точность сканирования может быть достигнута по всему полю.

Специальная процедура была разработана для измерения характеристик гистерезиса любого АСМ/СТМ устройства. Затем дополнительная процедура коррекции была реализована в пакете NanoMaker для компенсации ошибок гистерезиса "на лету". В результате, с помощью программного обеспечения, по всему полю сканирования может быть обеспечена точность позиционирования кантилевера около 1% (Fig.1b).