Совмещение и послойная литография

Fig. a. Контактные площадки были сформированы с использованием фотолитографии. Затем электронно-лучевая литография была использована для создания меза-структуры (кольца) с 2DEG. И, в заключение, снова, с помощью электронно-лучевой литография были выполнены металлические контакты.	Fig. b. Сверхпроводящее кольцо со слабым звеном размещено поверх гетероструктуры с двумерным электронным газом (ДЭГ) для исследования динамики проникновения одиночных квантов магнитного потока в кольцо.